MKS AX8561臭氧發(fā)生器介紹
2023-04-18
MKS AX8561臭氧發(fā)生器介紹MKS AX8561臭氧發(fā)生器已經(jīng)被O3CS臭氧緊湊系統(tǒng)替換,O3CS緊湊型臭氧系統(tǒng)使用6級(jí)氧氣產(chǎn)生純臭氧,為半導(dǎo)體行業(yè)創(chuàng)造高質(zhì)量薄膜。臭氧與各種前體氣體(如Al2O3, ZrO2, HfO2和La2O3金屬氧化物)反應(yīng),使薄膜沉積過(guò)程如原子層沉積(ALD)和蝕刻(